基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计

作     者：徐娜 颜嘉铭 邢运宏 刘超然 杨伟煌 王敏昌 李杜娟 董林玺 XU Na;YAN Jiaming;XING Yunhong;LIU Chaoran;YANG Weihuang;WANG Minchang;LI Dujuan;DONG Linxi

作者机构：杭州电子科技大学电子信息学院智能微传感器与微系统教育部工程研究中心浙江杭州310018 杭州士兰微电子股份有限公司浙江杭州310018 

基　　金：国家自然科学基金项目(61871167 U1909221 62111530298) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2022年第35卷第9期

页      码：1174-1181页

摘      要：MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要。据此提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统。并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响。为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立基于MEMS微振动台的传感器位置偏移检测与自校准模型,利用有限元软件仿真分析传感器位置偏移对器件输出性能的影响。仿真结果表明:当传感器在微振动台中心位置时,器件灵敏度和电容分辨率分别提高了1.31%和1.25%。放置偏移后,器件灵敏度和电容分辨率呈现线性下降,通过建立器件位置偏移与输出性能下降的对应关系,为后续的信号处理算法补偿传感器输出结果,实现器件性能校准提供了一种便捷实用的设计方案。

主 题 词：MEMS微振动台 位置偏移 位置自校准系统 加速度传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2022.09.003

馆 藏 号：203115318...