氧化镍基阵列式热敏器件有限元仿真

作     者：展旭和 邢健 杨杰 俞佳杰 张珂 吴思程 ZHAN Xuhe;XING Jian;YANG Jie;YU Jiajie;ZHANG Ke;WU Sicheng

作者机构：国家高速列车青岛技术创新中心山东青岛370214 航材国创(青岛)高铁材料研究院有限公司山东青岛370214 北京航空航天大学杭州创新研究院浙江杭州310051 

基　　金：浙江省科技厅重点研发项目(2021C05002) 

出 版 物：《江汉大学学报（自然科学版）》 (Journal of Jianghan University：Natural Science Edition)

年 卷 期：2022年第50卷第5期

页      码：34-40页

摘      要：随着物联网的飞速发展,对于温度的实时、准确和多点可视化监控变得不可或缺。基于之前发展的宽温域高精度氧化镍温度传感器,通过有限元阵列式热敏器件的模拟仿真,提出合适的阵列敏感单元尺寸和分布,在真实反映热源温度的情况下,尽量降低对相邻敏感单元的影响。仿真模型为四层结构,阵列密度为4×4。为了保证模拟的准确性,各层厚度均进行了同比例的放大。敏感单元尺寸的模拟优化结果显示,随着单元面积的减小其对于临近单元的影响逐步减小,当单元面积为8 mm×8 mm时,基本达到平衡。在厚度方面,当厚度到达1.0 mm之前,其变化对相邻单元温度影响较大;当厚度超过1.0 mm之后,影响变小。综合两个模拟结果确定了阵列中敏感层单元的尺寸为8 mm(长)×8 mm(宽)×(0.6~1.0)mm(高)。

主 题 词：温度传感器 有限元 优化设计 热敏电阻 仿真研究 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.16389/j.cnki.cn42-1737/n.2022.05.004

馆 藏 号：203115452...