二维动态显微镜的光学系统设计

作     者：路雨桐 冯大伟 向阳 刘永坤 吕思航 LU Yutong;FENG Dawei;XIANG Yang;LIU Yongkun;LV Sihang

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 

基　　金：国家重点项目研发计划(2017YFF0204803) 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2022年第45卷第5期

页      码：38-43页

摘      要：光电显微镜可实现线纹的自动对准,消除人工测量的主观性误差,具有速度快、效率高、重复性好、精度高的特点。为实现二维线纹的溯源测量,完成对十字刻线、圆形线纹等二维线纹的高分辨率瞄准,在一维动态光电显微镜的基础上,设计了应用于比长仪的二维动态光电显微镜光学系统,包括:物镜成像系统、照明系统、观察系统、分光系统。系统采用物方远心光路,消减由于物平面位置不准确所引起的测量误差;为适应不同线宽、线间距及特殊形状的线纹样板,设计结果:β=5倍、10倍、20倍,工作距5~20 mm,物方线视场2y=0.2 mm,数值孔径NA=0.2,传递函数接近衍射极限。

主 题 词：光学设计 二维线纹 光学狭缝 光电显微镜 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2022.05.007

馆 藏 号：203115467...