话说微电子工业洁净室的节能(1)——合理确定洁净室设计参数

作     者：涂光备 涂有 Tu Guangbei;Tu You

作者机构：天津大学天津 天津仁爱学院天津 

出 版 物：《暖通空调》 (Heating Ventilating & Air Conditioning)

年 卷 期：2022年第52卷第11期

页      码：42-49页

摘      要：经历了50多年的创业,中国的微电子工业获得巨大发展,相关从业人员得到培训和锻炼,为继续提高质量、补全短板创建了基础。降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面。本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验;就合理降低洁净室的送风量,创建局部净化等洁净微环境以缩减高洁净要求的面积,改善局部排风效果、减少空气渗漏,以及合理确定洁净室内的温湿度参数等问题提出了一些建议。

主 题 词：微电子工业 洁净室 节能 微环境 局部排风 正压控制 室内参数 

学科分类：08[工学] 081404[081404] 0814[工学-地质类] 

D　O　I：10.19991/j.hvac1971.2022.11.05

馆 藏 号：203115470...