基于复眼微结构的柔性压力传感器制备及测试
作者机构：鹤壁职业技术学院机电工程学院河南鹤壁458030 河南理工大学鹤壁工程技术学院电气电子系河南鹤壁458030
基 金：河南省科技厅科技研究项目-科技攻关(212102210015) 河南省高等教育教学改革研究与实践项目-重点项目(2021SJGLX676)
出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)
年 卷 期：2022年第42卷第5期
页 码：400-404页
摘 要：对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体采用三明治式结构,介质层选择了复眼微结构的设计方式,电极层则需要在改性后的PDMS表面溅射一层金属银。将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器。该传感器的测试结果为:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度达到了0.28 kPa-1,响应时间和恢复时间分别为58 ms和43 ms,迟滞性参数均小于7%,经过12000次的撞击实验,传感器仍然能保持稳定的输出。制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求。
主 题 词：电容式传感器 压力传感器 复眼结构 重复性测试 动态检测
学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学]
D O I：10.19623/j.cnki.rpsse.2022.05.013
馆 藏 号：203115474...
