利用先进微加工技术和薄膜材料实现电可调射频器件

作     者：张颖聪 葛晋群 王国安 ZHANG Ying-cong;GE Jin-qun;WANG Guo-an

作者机构：Department of Electrical EngineeringUniversity of South CarolinaColumbiaSC 29208United States 

基　　金：Projects(1253929 1910853)supported by the National Natural Science Foundation of China 

出 版 物：《Journal of Central South University》 (中南大学学报（英文版）)

年 卷 期：2022年第29卷第10期

页      码：3248-3260页

摘      要：多功能、多频段、高性价比、小型化的可重构射频器件在现代无线通信系统有着广泛应用,在未来也有极大的需求。本文介绍了基于先进薄膜材料和微加工技术设计制备的多频段、可重构射频器件。对表面微加工和体微加工技术等制造工艺的射频应用,特别是在射频微机电系统和电可调射频器件中的应用着重进行了探讨。此外,本文还综述了利用铁电和铁磁薄膜材料集成设计制备的连续可调、小型化、高性能射频器件,探讨了利用纳米图案结构工艺来增强铁磁薄膜的高频性能(例如:铁磁共振频率和损耗)的设计方法和策略,并示范了基于此实现的全电学可调的射频器件。

主 题 词：可调谐射频器件 体微加工技术 表面微加工技术 薄膜材料 

学科分类：080904[080904] 0810[工学-土木类] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081001[081001] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.1007/s11771-022-5165-8

馆 藏 号：203115497...