测试探针性能检测系统的设计与实现

作     者：汪俞成 肖金球 李盈 焦文开 谢翔 Wang Yucheng;Xiao Jinqiu;Li Ying;Jiao Wenkai;Xie Xiang

作者机构：苏州科技大学物理科学与技术学院苏州215009 苏州市智能测控工程技术研究中心苏州215009 

基　　金：江苏省产学研前瞻性重点项目(BY2011132) 江苏省住房和城乡建设厅科技项目(341731604) 江苏省研究生创新工程基金(KYCX21_3010)项目资助 

出 版 物：《国外电子测量技术》 (Foreign Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2022年第41卷第10期

页      码：97-103页

摘      要：为满足国内厂商对集成电路测试中测试探针出厂检测的要求,分析了测试探针需要检测的功能、参数和测试方法,利用压力传感器、温度传感器、激光位移传感器、电阻测量计、运动模块执行机构以及控制与数据采集模块,设计了一种以LabVIEW为核心的多功能测试探针性能检测系统,实现了对测试探针性能的自动测试。实验结果表明,所设计系统能够对测试探针进行有效的性能检测,测量误差小于±4%,测试时间比传统人工测量提高了5倍左右,检测系统性能稳定,显著提升了测试效率和测试精度。

主 题 词：测试探针 性能参数 LabVIEW 测量测试 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19652/j.cnki.femt.2204241

馆 藏 号：203115524...