SOI基可调谐微环光滤波器设计与性能测试

作     者：袁玉霞 杨瑞 YUAN Yuxia;YANG Rui

作者机构：郑州科技学院电子与电气工程学院河南郑州450064 

基　　金：2022年度河南省科技厅科技攻关项目(222102210318,222102310222) 2021年河南省教育厅高等学校重点科研项目(21B510012) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2022年第41卷第12期

页      码：63-66页

摘      要：基于绝缘体上硅(SOI)制作了单环与双环滤波器,并且对其滤波特性进行研究,同时分析了光耦合系数对滤波器输出特性的影响。针对倏逝波耦合结构较弱的调谐能力,提出了马赫—曾德尔干涉仪(MZI)耦合器的改进结构,微环腔长均为1 314μm的单环和双环滤波器,对于单双环,当电极功率分别为18~40 mW和21~33 mW时,可实现滤波器从欠耦合到临界耦合的调谐,且双环滤波器的中心波长在直通端电极功率0~21 mW范围移动了1 nm,相当于一个自由频谱宽度。

主 题 词：绝缘体上硅 微环谐振器 马赫—曾德尔干涉仪 可调谐性 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2022)12-0063-04

馆 藏 号：203115540...