切片机主轴系统的设计、装配与维修

作     者：种宝春 

作者机构：信息产业部电子第四十五研究所北京东燕郊101601 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2001年第30卷第4期

页      码：22-26页

摘      要：简述了切片机主轴系统的设计和主轴在装配过程中应当注意的几个环节以及对主轴系统的保养和维护

主 题 词：主轴系统 装配 维修 切片机 半导体 设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2001.04.005

馆 藏 号：203115542...