涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究

作     者：匡永麟 王晓冬 张国玉 张鹏飞 杜志华 KUANG Yonglin;WANG Xiaodong;ZHANG Guoyu;ZHANG Pengfei;DU Zhihua

作者机构：东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2022年第42卷第10期

页      码：731-736页

摘      要：涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行性能评估:在相同几何结构下,二维模型计算单级涡轮叶列的何氏系数略高于三维模型,压缩比略低于三维模型。同时,改进模型在解决涡轮叶片叶根可加工性的同时,其最大何氏系数和最大压缩比均有一定程度的提升。

主 题 词：涡轮分子泵 曲面叶片 抽气性能 结构设计 数值计算 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202205010

馆 藏 号：203115549...