柔性光纤压力传感器的制备工艺与参数研究

作     者：林雅坤 洪明森 隋丹丹 洪应平 张会新 LIN Yakun;HONG Mingsen;SUI Dandan;HONG Yingping;ZHANG Huixin

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2022年第45卷第5期

页      码：1061-1065页

摘      要：为了提高柔性光纤压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究。制作了基于不同浓度配比和不同固化时间的PDMS柔性光纤压力传感器,对比了不同参数下传感器的性能,得出了最佳的配比和固化参数,最后利用光频域反射计(OFDR)测量了光纤应变变化。结果表明,在PDMS基底厚度和固化温度恒定的情况下,浓度配比和固化时间均对柔性光纤压力传感器的灵敏度有影响,并验证了当施加压力的范围为0~276.2 kPa,加压的步长为27.6 kPa时,PDMS配比为8∶1,固化时间为2 h的传感器灵敏度最高,可达6.250 59με/kPa。同时,柔性压力传感器具有柔韧、轻薄、可测量复杂曲面等优点,为航天航海领域弧形物体表面压力测量提供了可靠的解决方案。

主 题 词：PDMS 光纤压力传感器 灵敏度 光频域反射计 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2022.05.007

馆 藏 号：203115578...