有源静电轴承起支过程的非线性控制

作     者：韩丰田 李冬梅 高钟毓 王永赟 HAN Fengtian;LI Dongmei;GAO Zhongyu;WANG Yongliang

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：中国博士后科学基金资助项目(2003033124) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2005年第45卷第11期

页      码：1476-1479页

摘      要：静电球轴承起支过程中,双边支承下的非线性与轴间耦合较强,必须配置支承垫才能实现任意姿态起支。为了解决静电球轴承无支承垫时的任意姿态起支问题,研究了基于无预载电压偏置的单边支承控制方法。根据非线性的静电力模型,应用反馈线性化方法构造出非线性控制器,使得系统在大范围内精确线性化,然后应用线性系统理论进行设计。实验结果表明,结合单边支承方案与非线性控制方法能够实现静电轴承在任意姿态下的平稳起支,无需配置支承垫,大大简化了对支承电极的工艺要求。

主 题 词：静电轴承 非线性控制 反馈线性化 静电力 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080203[080203] 081105[081105] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2005.11.010

馆 藏 号：203115676...