用特征多项式法设计PMP的误差补偿算法

作     者：周利兵 ZOU Li-bing

作者机构：武汉科技学院电子信息工程系湖北武汉430073 

出 版 物：《武汉科技学院学报》 (Journal of Wuhan Institute of Science and Technology)

年 卷 期：2005年第18卷第9期

页      码：22-27页

摘      要：提出了相位测量轮廓术(PMP)中相移算法的一种设计方法:特征多项式法。运用特征多项式法设计出了两种能同时抑制相移误差和谐波影响的误差补偿新算法,数值模拟验证了新算法对误差的抑制效果。该设计方法同样适用于相移干涉计量术。

主 题 词：相位测量轮廓术 特征多项式 相移算法 误差补偿算法 

学科分类：0810[工学-土木类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081002[081002] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-5160.2005.09.008

馆 藏 号：203115727...