精密宏微复合绝对式光栅尺设计与研究

作     者：范朝龙 王晗 刘强 陈新度 郑俊威 梁烽 Fan Zhaolong;Wang Han;Liu Qiang;Chen Xindu;Zheng Junwei;Liang Feng

作者机构：广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室广东广州510006 

基　　金：国家自然科学基金(51305084) 广东省引进创新科研团队专项(201001G0104781202) 中国博士后科学基金 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2015年第36卷第2期

页      码：287-293页

摘      要：通过对光栅尺原理的研究,设计一种宏微复合切换测量模式,利用增量码进行低精度测量,绝对码进行高精度测量。采用增量方式采集莫尔条纹的高速性,解决高精度绝对位置采集的低速性,实现宏微复合的高速与高精度的测量。实验证明,高精度低速绝对位置测量过程中测量精度可达0.6μm,在测量中使用新型高速与低速的变速切换测量方式,综合测量速度最高可以达到2m/s。

主 题 词：绝对光栅尺 宏微复合 速度切换 精密 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.5768/jao201536.0205002

馆 藏 号：203115781...