一种2μmp阱CMOS工艺

作     者：蒋志 王勇 华光平 

作者机构：清华大学微电子所 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：1994年第24卷第2期

页      码：51-55页

摘      要：本文介绍了我们开发的２μｍｐ阱ＣＭＯＳ工艺，包括不同工艺方案的设计，主要参数的选取、调整及实验结果。给出不同工艺方案的比较及实验结果对比，最后给出我们选定的２μｍｐ阱ＣＭＯＳ工艺方案及主要电学参数。

主 题 词：2微米工艺 CMOS技术 工艺 集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203116143...