Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用

作     者：于文娟 董可秀 王炳庭 周昌海 付翔 胡毅 Yu Wenjuan;Dong Kexiu;Wang Bingting;Zhou Changhai;Fu Xiang;Hu Yi

作者机构：滁州学院安徽滁州239000 滁州学院机械与电气工程学院安徽滁州239000 

基　　金：安徽省教学研究重点项目(2021jyxm1046) 线上线下混合式课程(2021xsxxkc209) 安徽省省级一般教学研究项目(2021jyxm1063) 校企合作实践教育基地(2020sjjd086) 

出 版 物：《廊坊师范学院学报（自然科学版）》 (Journal of Langfang Normal University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2022年第22卷第4期

页      码：118-121,128页

摘      要：为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程。软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础。

主 题 词：微电子工艺 集成电路 实验课程建设 Silvaco TCAD 

学科分类：0401[教育学-教育学类] 04[教育学] 040102[040102] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-3229.2022.04.024

馆 藏 号：203116177...