微米光栅加速度计的加工与性能研究(英文)

作     者：冯丽爽 姚保寅 刘惟芳 王潇 Feng Lishuang;Yao Baoyin;Liu Weifang;Wang Xiao

作者机构：北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室北京100191 北京航空航天大学新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室北京100191 

基　　金：supported by National Natural Science Foundation of China(60908016) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2015年第27卷第2期

页      码：251-256页

摘      要：介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能。硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构成敏感头的核心敏感部件。光源透过透明基底,照射在光栅上,在反射场内会产生一系列衍射级次,且各级次衍射光强与外界加速度之间呈函数关系。完成了微米光栅加速度计敏感头的加工,搭建了实验测试平台,完成了加速度计的灵敏度以及静电驱动性能测试。为未来新型集成式微米光栅加速度计设计和加工提供参考。

主 题 词：加速度传感器 微米光栅 光学干涉 静电驱动 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/hplpb201527.024147

馆 藏 号：203116189...