高深宽比沟槽标准样板的设计与表征

作     者：陈雅晴 管钰晴 邹文哲 赵琳 梁法国 孔明 陈凯晴 傅云霞 雷李华 Chen Yaqing;Guan Yuqing;Zou Wenzhe;Zhao Lin;Liang Faguo;Kong Ming;Chen Kaiqing;Fu Yunxia;Lei Lihua

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院杭州310018 上海市计量测试技术研究院上海201203 上海市在线检测与控制技术重点实验室上海201203 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

基　　金：国家重点研发计划项目(2019YFB2005503) 上海市自然科学基金项目(21ZR1483100) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2022年第59卷第12期

页      码：1375-1382页

摘      要：针对高深宽比三维结构无损测量系统的量值溯源难点,开发并设计了最大深宽比为30∶1,宽度为2~30μm,深度为10~300μm的一系列具有循迹结构、可快速定位功能的高深宽比沟槽标准样板。采用计量型扫描电子显微镜(SEM)对制备的高深宽比沟槽标准样板进行参数表征与溯源性分析。结果表明标称宽度2μm、标称深度60μm的高深宽比沟槽标准样板,其实际宽度测量结果为(2.191±0.008)μm,实际深度测量结果为(59.923±0.040)μm。对于标称宽度30μm、标称深度200μm的标准样板,其实际宽度测量结果为(29.721±0.112)μm,实际深度测量结果为(200.343±0.220)μm,并实现了近红外光谱型高深宽比三维结构测量系统高精密的校准。实验结果表明:设计的高深宽比沟槽标准样板是一种理想的高深宽比沟槽标准样板。

主 题 词：高深宽比 标准样板 测量系统 溯源性 三维结构 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2022.12.018

馆 藏 号：203116245...