基于弹性体模型的微机械陀螺检测电容解析方法

作     者：姜涛 王安麟 张颖 焦继伟 JIANG Tao;WANG An-lin;ZHANG Ying;JIAO Ji-wei

作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院上海200030 同济大学机械工程学院上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 

基　　金：国家自然科学基金项目(50475019 50390063) 国家863项目(2005AA404020) 

出 版 物：《宇航学报》 (Journal of Astronautics)

年 卷 期：2006年第27卷第3期

页      码：426-432页

摘      要：以体微机械加工技术制备的音叉式振动型微机械陀螺为研究对象,以提高其检测电容的解析精度为目的,利用多自由度动态有限元解析理论,首次提出了基于弹性体模型的检测电容解析法。实现了考虑制备工艺、加工手段等引起的微陀螺结构缺陷造成的性能、品质变异仿真,以及面向微陀螺最终输出性能———检测电容的动力学特性与检测特性的分析。此方法基本解决了刚体结构微机械陀螺简化模型的低精度缺陷问题,为实现其多物理场工作环境的表征、结构拓扑形态的设计、复杂动态性能的仿真等工程化目标提供了可能。

主 题 词：微机械陀螺 多自由度 检测电容 质量分布 数学模型 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-1328.2006.03.020

馆 藏 号：203116263...