电子级四氟化碳高效节能精馏技术的研究

作     者：阙祥育 Que Xiangyu

作者机构：福建德尔科技股份有限公司福建364204 

出 版 物：《当代化工研究》 (Modern Chemical Research)

年 卷 期：2022年第24期

页      码：137-139页

摘      要：四氟化碳(CF_(4))是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF_(4)的制备工艺流程中,精馏提纯技术是CF_(4)气体纯度能否达到电子级的关键所在。目前,本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产,但精馏提纯过程存在能耗较高,效率和收率较低等问题。针对以上问题,本项目设计开发了一款由冷凝器、再沸器和精馏塔三合一构成的不带捕集器的整体式精馏装置,采用多级液相分布精馏技术结合优化工艺操作参数,取得良好提纯效果,实现了节能、高效。

主 题 词：四氟化碳 精馏 提纯 高效 节能 分离 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-8114.2022.24.043

馆 藏 号：203116658...