基于氧化铝陶瓷的无线无源高温压力传感器的设计与制备

作     者：关洋 张晓明 GUAN Yang;ZHANG Xiao-ming

作者机构：中北大学电子测试技术国防科技重点实验室 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

出 版 物：《科学技术与工程》 (Science Technology and Engineering)

年 卷 期：2016年第16卷第2期

页      码：203-207页

摘      要：设计并制备了一种基于氧化铝陶瓷的无线无源高温压力传感器。首先在常温、压力测试范围为0~0.4 MPa的设计条件下,利用ANSYS仿真软件对所设计的结构进行了力学模型的分析,得出方形氧化铝陶瓷的最大等效应力小于最大许用应力;之后从切片与冲孔、叠片与热压、高温烧结、丝网印刷与后烧等主要工艺步骤介绍了基于氧化铝陶瓷压力传感器的制备方法;最后对其进行了导通性测试。所制备的压力传感器可用于常温下的压力检测和高温下的性能研究。

主 题 词：氧化铝陶瓷 压力传感器 Ansys仿真 工艺制备 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-1815.2016.02.039

馆 藏 号：203116670...