PEM老炼过程中的温度闭环控制系统

作     者：白冰 王伟明 李青峰 李路明 BAI Bing;WANG Weiming;LI Qingfeng;LI Luming

作者机构：清华大学航天航空学院北京100084 

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金项目(60906050) 清华大学自主科研计划项目(2009THZ01010) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2016年第56卷第3期

页      码：294-298页

摘      要：当前,老炼仍被广泛应用于塑封微电路(PEM)的可靠性保证。为了解决老炼过程中存在的热失控及温度不一致的问题,该文设计了一套温度闭环控制系统。在由老炼箱自身装置提供箱内基础温度的基础上,设计的温度闭环控制系统以每个封装夹具内的微环境为控制对象,采用模糊自适应算法,最优配置比例积分(PI)控制器的控制参数,最终驱动执行器,对被老炼器件及时加热或散热。通过试验证实,老炼过程中加入温度闭环控制系统后,被测器件的温度在更短的时间内(20min)达到稳态,稳态精度控制在1℃以内,且被测器件温度的差异由2℃降低到基本一致。而后,当系统采用模糊自适应控制算法后,系统的动态响应时间更短,抗干扰能力更强。因此,该系统达到了防止器件热失控及保证不同器件间温度一致的目的。

主 题 词：塑封微电路 老炼 可靠性 温度闭环控制 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2016.21.020

馆 藏 号：203116675...