Y型双声路声表面波质量传感器及其测量系统

作     者：章安良 朱大中 

作者机构：浙江大学信息科学与工程学院信息与电子工程学系杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60176027) 浙江省自然科学基金资助项目(600026) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2003年第25卷第6期

页      码：445-448页

摘      要：报道了一种在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制新型的延迟线型声表面波质量传感器及测量系统。由于环境温度对声表面波质量传感器性能影响较大,因此采用新型的Y型双声路结构克服环境温度对传感器性能的影响。阐述了Y型双声路质量传感器器件的结构及设计、测试电路的原理,对实验结果作了分析讨论。测试结果表明:器件相对温度系数仅为11Hz/°C左右,器件的质量沉积效应灵敏度为3.62GHz·cm2/g,并且具有良好的线性度。

主 题 词：声表面波传感器 质量沉积效应 声表面波延迟线 多条耦合器 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2003.06.003

馆 藏 号：203116727...