纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计

作     者：陈兢 刘理天 李志坚 

作者机构：清华大学微电子学研究所北京100084 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2001年第22卷第7期

页      码：951-956页

摘      要：综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统的行为 。

主 题 词：CAD EDA 动态特性 微麦克风 纹膜结构 Top-down设计 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2001.07.028

馆 藏 号：203117062...