转子悬浮式微静电电机的检测电路设计

作     者：陈喆 韩丰田 Chen Zhe;Han Fengtian

作者机构：清华大学精密仪器及机械学系北京100084 

基　　金：863计划(编号:2008AA04Z312)资助项目 国家自然科学基金(编号:50577036)资助项目 

出 版 物：《电子测量与仪器学报》 (Journal of Electronic Measurement and Instrumentation)

年 卷 期：2009年第23卷第7期

页      码：73-77页

摘      要：静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动,然后借助于悬浮控制系统来实现转子的五自由度有源静电悬浮。文中介绍了基于公共激励电极方案的微位移检测电路,并进行了设计仿真和实验测试。仿真分析和实验测试表明,设计的电容式位移检测电路可用于MEMS微静电悬浮电机的悬浮控制系统。

主 题 词：微位移检测 静电悬浮电机 差动电容传感器 微机电系统 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 081105[081105] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 080201[080201] 

馆 藏 号：203117094...