紫外衍射微透镜阵列的设计与制备

作     者：张宇明 李毅 孙若曦 周晟 朱慧群 方宝英 ZHANG Yuming;LI Yi;SUN Ruoxi;ZHOU Sheng;ZHU Huiqun;FANG Baoying

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 上海市现代光学系统重点实验室上海200093 五邑大学薄膜与纳米材料研究所广东江门529020 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)专题课题资助项目(2006AA03Z348) 教育部科学技术研究重点项目(207033) 上海市科学技术委员会科技攻关计划项目(06DZ11415) 上海市教育委员会科研创新重点项目(10ZZ94) 上海市研究生创新基金资助项目(JWCXSL1001) 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2012年第38卷第3期

页      码：263-267页

摘      要：为了提高紫外焦平面阵列的填充因子,可以通过微透镜阵列与紫外焦平面阵列的集成,以改善紫外焦平面阵列的探测性能。根据标量衍射理论设计了用于日盲型紫外焦平面阵列的128×128衍射微透镜阵列,其工作中心波长为350nm,单元透镜F数为F/3.56。采用组合多层镀膜与剥离的工艺方法制备了128×128衍射微透镜阵列,对具体的工艺流程和制备误差进行了分析,测量了衍射微透镜阵列的光学性能。实验结果表明:衍射微透镜阵列的衍射效率为88%,与理论值95%有偏差,制备误差主要来自对准误差和线宽误差。紫外衍射微透镜阵列具有均匀的焦斑分布,与紫外焦平面阵列单片集成能较好地改善器件的整体性能。

主 题 词：紫外 焦平面阵列 衍射微透镜阵列 单片集成 

学科分类：080903[080903] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gxjs20123803.0263

馆 藏 号：203117122...