硫化锌基底8～12μm红外增透膜的研究

作     者：庞薇 付秀华 邢政 傅晶晶 PANG Wei;FU Xiuhua;XING Zheng;FU Jingjing

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 

基　　金：国家863计划资助项目 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2008年第31卷第2期

页      码：46-47,39页

摘      要：为了提高硫化锌基底的透过率和膜层的机械强度,对硫化锌基底上的红外宽带减反射膜的设计和制备工艺进行了研究。经过实验,选取镀膜材料,优化沉积工艺参数以及采用离子束辅助沉积技术,研制出膜层附着力好,光学性能稳定的红外增透膜。最后,对制备的增透膜进行环境实验,各项指标均满足设计要求。

主 题 词：光学薄膜 红外增透膜 离子辅助 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2008.02.015

馆 藏 号：203117161...