软X射线激光用分束镜研制

作     者：王占山 吴永刚 唐伟星 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪义麟 付绍军 朱杰 崔明启 

作者机构：同济大学精密光学工程技术研究所同济大学物理系上海200092 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室合肥230029 中国科学院高能物理研究所北京100039 

基　　金：国家自然科学基金资助(批准号:69989801,60178021) 国家“八六三”计划基金资助项目 

出 版 物：《科学通报》 (Chinese Science Bulletin)

年 卷 期：2003年第48卷第13期

页      码：1398-1401页

摘      要：软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。

主 题 词：软X射线激光 分束镜 多层膜 干涉 临界面 等离子体 离子束溅射法 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0023-074X.2003.13.007

馆 藏 号：203117185...