三氯氢硅生产装置设计及优化措施

作     者：侯松涛 Hou Songtao

作者机构：上海华谊工程有限公司上海200235 

出 版 物：《上海化工》 (Shanghai Chemical Industry)

年 卷 期：2015年第40卷第8期

页      码：14-18页

摘      要：本三氯氢硅工业生产装置采用硅粉与氯化氢气体直接反应的常压沸腾床工艺。介绍了整个生产工艺流程;分析生产过程中的主要危险因素,提出避免危险因素出现的主要设计措施;分析了硅粉粒径、氯化氢含水量、合成炉反应温度、精馏效果对三氯氢硅产品的影响并提出优化措施。

主 题 词：三氯氢硅 多晶硅 生产工艺 工业化设计 优化 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-017X.2015.08.004

馆 藏 号：203117236...