投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计

作     者：张巍 巩岩 ZHANG Wei;GONG Yan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.40674098) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2008年第16卷第11期

页      码：2081-2086页

摘      要：离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。

主 题 词：衍射光学元件 投影光刻 分辨率增强 照明 光束整形 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2008.11.007

馆 藏 号：203117290...