碳管炉真空系统的检漏

作     者：贾佳林 熊晓梅 纪平 李高山 闫果 李成山 JIA Jia-lin;XIONG Xiao-mei;JI Ping;LI Gao-shan;YAN Guo;LI Cheng-shan

作者机构：西北有色金属研究院超导材料研究所陕西西安710016 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2011年第48卷第6期

页      码：69-71页

摘      要：本文主要论述了碳管炉真空系统的组成及特点,利用静态压升检漏法和氦质谱检漏两种手段评定碳管炉密封性的好坏,此方法对真空热处理设备及类似装备的设计、检漏具有很好的指导意义。

主 题 词：压升率 真空 检漏 氦质谱检漏 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2011.06.025

馆 藏 号：203117351...