钟罩式高温烧结炉

作     者：魏唯 

作者机构：电子工业部第48研究所 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：1998年第1期

页      码：55-62页

摘      要：研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结构组成和设计原理。

主 题 词：高温烧结炉 微组装工艺 IC 制造工艺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203117587...