基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计

作     者：张牧 张诚 陈才和 王金海 张波 岳泉 ZHANG Mu;ZHANG Cheng;CHEN Cai-he;WANG Jin-hai;ZHANG Bo;YUE Quan

作者机构：天津工业大学天津300160 天津大学精密仪器与光电子工程学院 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(49874031) 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2007年第30卷第1期

页      码：170-173页

摘      要：本文介绍了一种基于Labview的光度式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量.研究并推导出该系统的数学模型及椭偏参数的计算公式.基于C8051F020单片机设计出椭偏仪的控制器并使用Labview编写了测量软件.在测量软件中嵌入MatlabScript节点,完成复杂运算.通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100A。,折射率误差小于0.01.

主 题 词：椭偏仪 光度法 虚拟仪器Labview C8051F020 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2007.01.045

馆 藏 号：203117823...