磁悬浮转子真空计混合磁悬浮建模与控制研究

作     者：李博文 李得天 习振华 郭美如 周明旭 LI Bowen;LI Detian;XI Zhenhua;GUO Meiru;ZHOU Mingxu

作者机构：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000 东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819 

基　　金：国家自然科学基金(62071209) 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2023年第29卷第1期

页      码：43-50页

摘      要：针对磁悬浮转子真空计的永磁-电磁混合磁悬浮系统,考虑其磁悬浮结构中的永磁体影响,计算了磁悬浮轴向的磁场分布,建立了混合磁悬浮系统的频域模型。设计了永磁电流刚度系数与永磁位移刚度系数,用来表征线圈电流、转子距下线圈的距离及永磁体参数对混合磁悬浮系统的影响,并依据这两个参数对悬浮系统的设计做出限制与规定。设计了模拟比例-积分-微分控制电路以进行悬浮控制。最后按照此控制模型在真空下用测量头进行压力测量实验。实验结果表明,根据设计的混合磁悬浮模型的线圈参数与安装位置,在模拟比例-积分-微分控制电路的控制下,可以完成9×10^(-5)~1 Pa的压力测量。

主 题 词：真空计量 磁悬浮转子真空计 混合磁悬浮 模拟电路 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7086.2023.01.007

馆 藏 号：203117863...