ZG-15型卷绕镀膜机感应加热式蒸发源的设计

作     者：康哲 苏长庆 李石 徐志强 

作者机构：锦州真空设备厂 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：1990年第27卷第2期

页      码：19-25页

摘      要：感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛 地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加 热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感 应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题，诸如坩 埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍，并且指出了这 种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。

主 题 词：镀膜机 蒸发源 设计 真空镀膜 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.1990.02.004

馆 藏 号：203118031...