非晶硅薄膜光谱响应研究

作     者：曲鹏程 刘爽 陈逢彬 张尚剑 陈德军 刘永 何存玉 尹潘薇 

作者机构：电子科技大学光电信息学院成都610054 成都言伯科技有限公司成都610031 

基　　金：国家自然科学基金项目(61177035) 四川省科技项目(2011GZ0003 2012GZ0051) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2013年第34卷第6期

页      码：1002-1004页

摘      要：利用Matlab软件计算了基于本征吸收的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真出由多个不同带隙的薄膜组成的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真了薄膜厚度、光学禁带宽度参数对非晶硅薄膜光谱响应的影响,设计出一种渐变带隙的非晶硅薄膜。结果表明渐变带隙的非晶硅薄膜能有效拓宽薄膜的光谱响应范围,也能提高光谱中对各个波长的响应值。

主 题 词：非晶硅薄膜 光谱响应 渐变带隙 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2013.06.022

馆 藏 号：203118114...