模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

作     者：姚庆梅 许夫明 牟洵 贾燕 YAO Qing-mei;XU Fu-ming;MOU Xun;JIA Yan

作者机构：山东建筑大学信息与电气工程学院山东济南250101 

出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期：2014年第33卷第1期

页      码：91-95页

摘      要：针对磁控溅射镀膜生产中,靶电源的输出功率存在大时滞、非线性和难以确定其精确数学模型等问题,提出了将PLC技术与模糊算法相结合的控制策略实现靶电源输出功率的模糊智能控制。首先对模糊控制的原理和模糊控制器的设计进行了详细介绍,然后给出了模糊算法在PLC控制上的具体实现方法。在程序的设计上,采用离线计算、在线查表的方法,不仅节省了实际控制中的计算时间,而且使得复杂的模糊控制算法在实际应用中简单明了。最后通过仿真验证了模糊控制策略在靶电源输出功率的控制上达到了良好的效果。

主 题 词：磁控溅射 PLC 模糊控制 离线计算 在线查表 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-8829.2014.01.024

馆 藏 号：203118114...