主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作

作     者：杨潞霞 毛静 王春水 张斌珍 王万军 YANG Lu-xia;MAO Jing;WANG Chun-shui;ZHANG Bin-zhen;WANG Wan-jun

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、电子测试技术教育部重点实验室山西太原030051 山西大学商务学院信息学院山西太原030031 

基　　金：国家自然科学基金(61176115) 山西大学商务学院科研(2013006)资助项目 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2014年第25卷第5期

页      码：864-869页

摘      要：用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片。

主 题 词：微透镜阵列 薄膜形变 有限元分析 芯片键合 聚焦测试 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2014.05.012

馆 藏 号：203118129...