新型表面电阻测试系统研究

作     者：任宇龙 荆晓冬 丁晨 乔玉娥 刘岩 吴爱华 

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所 

出 版 物：《中国计量》 (China Metrology)

年 卷 期：2023年第1期

页      码：46-47,52页

摘      要：针对现有防静电台面检测过程效率低、操作失误率高的问题,本文通过对检测数据采集存储、报告及合格标识自动生成等模块的研究,设计出一套新型表面电阻测试系统。该系统适用于大批量防静电台面集中检测,较传统的检测过程,省去了人工撰写原始数据、合格标识等步骤,简化了检测报告出具的方式,检测过程中可节约近30%的时间,能够极大地提高检测效率。通过为半导体生产厂家、各防静电检测机构提供行之有效的方案,解决了半导体生产单位EPA区域内大批量防静电台面检测的难题。

主 题 词：防静电台面 检测 表面电阻 自动化 效率 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2023.01.010

馆 藏 号：203118163...