旋转冲洗甩干机控制系统设计及转子动平衡研究

作     者：唐卓睿 吴彩庭 孔倩茵 戴科峰 盛飞龙 Tang Zhuorui;Wu Caiting;Kong Qianyin;Dai Kefeng;Sheng Feilong

作者机构：季华实验室大功率半导体装备研究部广东佛山528253 

基　　金：季华实验室基金项目(编号:X210241TC210) 

出 版 物：《机电工程技术》 (Mechanical & Electrical Engineering Technology)

年 卷 期：2023年第52卷第1期

页      码：177-181页

摘      要：在半导体晶圆生产线中,旋转冲洗甩干是一道必不可少的工艺,旋转冲洗甩干设备中核心控制系统设计的合理性与高速旋转转子动平衡的品质对旋转冲洗工艺的稳定性的提高有至关重要的作用。针对旋转冲洗甩干机工艺中所需的功能和步骤设计了一套全新的控制系统,此控制系统使用触摸屏作为人机操作界面,通过触摸屏输入工艺所需的参数、制程、显示运行和故障状态。将触摸屏与下位机PLC通信,完成了对整机的实时控制与监控,增加了安全互锁功能,提升了装备整体控制的稳定性与安全性;随后,结合国家动平衡品质标准、理论计算和实际校正实验,研究了转子的动平衡。通过钻孔去重校正法使得转子的动平衡达到了预先设计的G6.3动平衡品质级别,此方法和研究不仅减少了设备的抖动与“碎片”概率,也为旋转清洗设备中转子动平衡的实现提供了一套可行的方案。

主 题 词：旋转冲洗甩干机 控制系统 转子 动平衡 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-9492.2023.01.041

馆 藏 号：203118254...