高过载小量程加速度计结构优化与特性分析

作     者：刘思远 苏淑靖 许福佳 LIU Siyuan;SU Shujing;XU Fujia

作者机构：中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51875534) 创新研究群体科学基金资助项目(51821003) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2023年第42卷第2期

页      码：49-52页

摘      要：在四边固支梁—质量块结构的基础上,优化设计了一种带有微梁的新型四边固支梁压阻式加速度计敏感芯片。通过在结构中引入微梁,有效解决了传统小量程加速度计固有频率与灵敏度相互制约的问题。利用有限元分析软件对优化后的结构进行分析,得到结构的最大应力为2.6 MPa,固有频率为31 kHz,灵敏度为60.9μV/gn,抗过载为10000 gn。与传统高过载小量程加速度计相比较,有效地提高了加速度计的综合性能。

主 题 词：加速度计 高过载 小量程 灵敏度 固有频率 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2023)02-0049-04

馆 藏 号：203118525...