超大规模集成电路的可制造性设计

作     者：郭琦 李惠军 GUO Qi;LI Hui-jun

作者机构：山东大学孟堯微电子研发中心济南250100 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2005年第42卷第9期

页      码：435-439页

摘      要：以Synopsys推出的TCAD软件TSUPREM-Ⅳ和Medici为蓝本,结合100nm栅长PMOSFET的可制造性联机仿真与优化实例,阐述了超大规模集成电路DFM阶段所进行的工艺级、器件物理特性级优化及工艺参数的提取。

主 题 词：超大规模集成电路 深亚微米 可制造性设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2005.09.009

馆 藏 号：203118597...