考虑工件释放时间和柔性维护的单机调度问题

作     者：李小林 司佳佳 尹传传 李玉鹏 LI Xiaolin;SI Jiajia;YIN Chuanchuan;LI Yupeng

作者机构：中国矿业大学矿业工程学院江苏徐州221116 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(71401164) 中国博士后科学基金资助项目(2018M642367) 

出 版 物：《计算机集成制造系统》 (Computer Integrated Manufacturing Systems)

年 卷 期：2023年第29卷第2期

页      码：581-592页

摘      要：针对晶圆制造过程中考虑清洗维护的生产调度联合优化问题,以最小化最大完工时间为求解目标,优化工件加工顺序及维护活动执行时间。证明了该问题为NP难的,建立了问题的整数规划模型并进行线性化。结合机器役龄约束下的成批调度问题特征,证明了解的性质,并设计ERD-LPT-BFLD启发式算法对问题进行求解。构建了考虑工件释放时间及清洁活动约束的下界算法。通过不同规模算例仿真实验,将所提启发式算法与CPLEX及下界算法求解结果进行比较,验证了所提算法的有效性。

主 题 词：单机调度 晶圆清洗 柔性维护 释放时间 启发式算法 

学科分类：08[工学] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.13196/j.cims.2023.02.019

馆 藏 号：203118600...