用氦离子化(DID)气相色谱仪分析高纯四氟化碳

作     者：邓建平 钱琳 周朋云 DENG Jianping;QIAN Lin;ZHOU Pengyun

作者机构：核工业理化工程研究院特气中心天津津塘公路168号300180 西南化工研究设计院成都双流航空港445610225 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2011年第29卷第5期

页      码：35-38页

摘      要：介绍了一种利用氦离子化检测器(DID)分析高纯四氟化碳中微量氧气、氮气、二氧化碳和六氟乙烷的方法。利用阀切割技术能够将大量的四氟化碳主成分切割,使其不进入检测器系统。该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6,经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。

主 题 词：氦离子化检测器 四氟化碳 阀切割 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2011.05.010

馆 藏 号：203118602...