基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计

作     者：唐兴刚 龙善丽 童紫平 吴传奇 贺克军 TANG Xinggang;LONG Shanli;TONG Ziping;WU Chuanqi;HE Kejun

作者机构：华东光电集成器件研究所江苏苏州215163 

基　　金：重庆市基础与前沿研究项目 川大-达州校地合作项目 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2023年第42卷第3期

页      码：100-102,107页

摘      要：为满足系统在导航和倾角测量等领域对高精度、大量程加速度计的应用需求,设计了一种高精度、大量程微机电系统(MEMS)加速度计。加速度计敏感结构采用梳齿式结构,电容/电压(C/V)转换电路采用开关电容架构,通过斩波技术和相关双采样技术有效降低调理电路的1/f噪声。为提高系统线性度,模/数转换器(ADC)采用2阶1 bit Sigma-Delta架构,同时采用斩波技术降低ADC的失调及1/f噪声。本文设计采用0.18μm BCD工艺,调理电路面积为28 mm^(2)。测试结果表明:MEMS加速度计在±50 gn的量程下,零偏稳定性达到73.7μg,非线性度为69.3×10^(-6),总功耗110 mW。

主 题 词：微机电系统加速度计 电容/电压转换电路 高精度 大量程 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0100-03

馆 藏 号：203118658...