射频板条CO_2激光器整形光路自适应调节研究

作     者：王振 韩蒙蒙 彭浩 唐霞辉 WANG Zhen;HAN Mengmeng;PENG Hao;TANG Xiahui

作者机构：华中科技大学光学与电子信息学院激光加工国家工程研究中心武汉430074 武汉工程大学电气信息学院武汉430071 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2015年第39卷第4期

页      码：471-475页

摘      要：为了解决射频板条CO2激光器因安装或腔镜热畸变造成的光路偏移问题,采用外光路偏移补偿的方法对其进行校正。研究了基于压电陶瓷的偏移补偿装置,设计了压电陶瓷驱动电路,并分析了控制精度和自适应控制方法。结果表明,通过偏移补偿装置,激光输出功率在任何占空比下均可达到或超过标准参考功率值,并通过对比有无自适应调节,激光输出功率最大相差100W,且可保持激光输出功率在2h运行中波动小于2%。此项研究可保证激光器高效运行,提高激光器的输出功率和模式的稳定性,具有较大的实用价值。

主 题 词：激光技术 射频板条CO2激光器 畸变偏移 自适应调节 压电陶瓷 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.009

馆 藏 号：203118685...