Ronchi光栅检测非球面镜系统的设计及实验研究

作     者：包兴臻 何锋赟 赵楠 董健 BAO Xingzhen;HE Fengyun;ZHAO Nan;DONG jian

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所精密仪器与装备研发中心吉林长春130000 

基　　金：吉林省发改委项目(2020C030-4) 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2023年第49卷第1期

页      码：57-63页

摘      要：为指导大口径非球面反射镜的精磨至抛光过程的加工,设计了Ronchi光栅检测系统。采用零位补偿器替代补偿光栅的设计制作,既能用Ronchi法对粗加工过程检测,也能用于干涉仪检测;模拟Ronchi检测过程中条纹形状与对应面型像差的关系,通过判断条纹形状对加工过程进行指导;针对某600mm口径的双曲面反射镜,设计了Ronchi光栅检测系统、零位补偿系统、成像系统。分析检测系统元件剩余反射对成像结果的影响,并提出相应的解决方案。分析表明,在Ronchi光栅检测光路中,分光棱镜表面5%剩余反射相对0.1%剩余反射,像面暗条纹的照度值增量大于30倍,条纹明暗对比度下降,难以分辨;光栅剩余反射大于3%时条纹中心产生亮斑,亮斑照度与条纹照度值比大于5倍。通过优化系统结构,降低元件表面剩余反射,提高了像面条纹对比度。将Ronchi检测系统用于双曲面镜抛光过程的检测,测得双曲面粗抛光后RMS值为0.042λ,PV值为0.291λ,可有效指导非球面的精磨与粗抛光过程。

主 题 词：Ronchi光栅检测 像差 剩余反射 条纹对比度 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.01.017

馆 藏 号：203118688...