双重键合结构石墨烯压力传感器的设计与仿真

作     者：陈绪文 王俊强 CHEN Xuwen;WANG Junqiang

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉学科研究院太原030051 

出 版 物：《舰船电子工程》 (Ship Electronic Engineering)

年 卷 期：2022年第42卷第12期

页      码：94-97页

摘      要：石墨烯具有优秀的力学性能与电学性能,可以应用到MEMS压力传感器。目前大部分石墨烯压力传感器都是悬浮式,由石墨烯直接承受压力,也就导致了石墨烯缺乏相应的防护,容易造成氧化及污染。基于此设计了一种硅膜承压、双重键合结构的石墨烯压力传感器,以形成气密环境保护石墨烯。对压力传感器进行了简化仿真分析,仿真结果表明,方形膜片易于加工且灵敏度较高,最终确定在0~100MPa量程范围下膜片的最优尺寸为边长1000μm、厚度170μm,石墨烯达到的应变极限为1.85‰,这表明硅膜承压结构可以应用于提高石墨烯压力传感器的量程,为其设计与制造奠定了基础。

主 题 词：石墨烯 压力传感器 双重键合 有限元仿真 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9730.2022.12.021

馆 藏 号：203118692...