芯片生产过程中的特气处理自动控制设计

作     者：荀本舟 XUN Ben-zhou

作者机构：上海盛剑环境系统科技股份有限公司上海201807 

出 版 物：《价值工程》 (Value Engineering)

年 卷 期：2023年第42卷第7期

页      码：83-85页

摘      要：自动控制系统对燃烧安全及运维便捷起着至关重要的作用。特气燃烧处理自动控制系统采用S7-1500PLC系统并着重燃烧安全控制进行自控设计。本文介绍了特气的危害与燃烧处理自动控制系统,阐述了涉及到的燃烧串的设计、点火程序设计、硬件与程序的安全控制、报警程序设计、运维手动及刮刀程序设计、以及S7-1500控制系统为主的硬件及程序设计过程。

主 题 词：特气处理 S7-1500控制系统 燃烧安全控制 自动控制 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-4311.2023.07.026

馆 藏 号：203118974...