LIGA技术制造微流量计的研究

作     者：刘刚 田扬超 洪义麟 阚娅 张鹏 田学红 伊福廷 LIU Gang;TIAN Yang-chao;HONG Yi-lin;KAN Ya;ZHANG Peng;TIAN Xue-haong;YI Fu-ting

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230026 中国科学院高能物理所同步辐射室北京100039 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2000年第4期

页      码：73-76页

摘      要：介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究 ,讨论了微流量计的结构和工作原理 ,设计和研制了一种微流量计。

主 题 词：微流量计 LIGA 微装配 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 081104[081104] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

馆 藏 号：203119315...